U industriji poluvodiča, mikroelektronike i farmaceutskoj industriji, zahtjevi čistoće za procesne kemikalije su izuzetno strogi, pa čak i onečišćenje metalnim ionima u tragovima dovest će do odbacivanja proizvoda ili degradacije kvalitete. Obični industrijski-PFA grijači ne mogu zadovoljiti tako visoke zahtjeve čistoće, pa su se kao posebna kategorija pojavili PFA grijači visoke{2}}elektroničke-grade čistoće. Ovi grijači koriste PFA smolu ultra-visoke čistoće i proizvedeni su u strogim uvjetima čiste proizvodnje, osiguravajući nultu taloženost iona tijekom upotrebe i postaju standardna oprema za grijanje za visoke- čiste procese.
Osnovna razlika između PFA grijača visoke -čistoće i uobičajenih industrijskih-proizvoda leži u čistoći sirovina. Elektronska -PFA smola koristi posebne postupke polimerizacije i pročišćavanja, s iznimno niskim sadržajem metalnih nečistoća, fluoridnih iona i organskih ostataka. Taloženje metalnih iona visoke -čistoće PFA nakon dugotrajnog-uronjenja obično je na razini ppt (dijelova na trilijun), dok obična industrijska PFA može biti na razini ppm, što je razlika milijun puta. Ova ultra-karakteristika niske količine oborina osigurava da proces grijanja neće zagađivati kemijske otopine visoke-čistoće, ispunjavajući stroge zahtjeve čistoće za obradu vafla.
U proizvodnji poluvodiča, PFA grijači visoke-čistoće naširoko se koriste u različitim vezama mokrih procesa. Strojevi za čišćenje pločica trebaju zagrijavati različite kemijske otopine za čišćenje kao što su SC1, SC2, sumporna kiselina vodikov peroksid, itd. PFA grijači visoke -čistoće mogu se izravno uranjati i zagrijavati bez unošenja bilo kakvog metalnog onečišćenja. U postupcima skidanja fotorezista i zagrijavanja otopine za jetkanje, PFA visoke-čistoće također pokazuje izvrsnu otpornost na koroziju i čistoću. Osim toga, grijači PFA visoke -čistoće također su standardne konfiguracije u farmaceutskoj proizvodnji, laboratorijskim analizama i drugim prilikama koje zahtijevaju zagrijavanje ultra{10}}čiste otopine.
Proizvodni proces PFA grijača visoke -čistoće ima puno strožu kontrolu od običnih industrijskih proizvoda. Cjelokupni proizvodni proces mora biti dovršen u čistoj radionici klase 100 ili više kako bi se izbjeglo onečišćenje okoliša česticama. Svi alati i uređaji moraju koristiti fluoroplastične materijale visoke -čistoće i ne smiju doći u dodir s metalom koji bi mogao prouzročiti onečišćenje. Nakon proizvodnje, proizvodi moraju proći kroz više-kanalno čišćenje ultra-čistom vodom i čisto pakiranje kako bi se osiguralo da su proizvodi isporučeni kupcima u čistom stanju i da se mogu izravno koristiti.
Provjera kvalitete PFA grijača visoke-čistoće također zahtijeva posebne standarde ispitivanja. Uz konvencionalnu detekciju rupica i debljinu, također je potrebno provesti test taloženja iona, TOC (ukupni organski ugljik) test i test broja čestica kako bi se potvrdila razina čistoće. Samo proizvodi koji su prošli ove stroge testove mogu se koristiti u vrhunskim čistim-procesima. Naravno, cijena PFA grijača visoke -čistoće također je znatno viša od cijene industrijskih-proizvoda, obično 2 do 3 puta više od običnih PFA grijača.
Tablica 1. Usporedba industrijskih-razreda i elektronskih-PFA grijača
表格
| Indikator izvedbe | Industrijski{0}}PFA | Elektronski-razred visoke-PFA čistoće |
|---|---|---|
| Čistoća smole | Standardni industrijski stupanj | Ultra{0}}pročišćena klasa poluvodiča |
| Taloženje metalnih iona | razina ppm | ppt razina |
| Proizvodno okruženje | Obična radionica | Razred 100+ čista soba |
| Kontrola čestica | Nema posebnih zahtjeva | Stroga kontrola broja čestica |
| Tipična primjena | Galvanizacija, kemijska obrada površine | Čišćenje poluvodičkih pločica, farmaceutsko |
| Relativni trošak | 1× osnovna linija | 2–3× |
S ultra-niskim taloženjem iona i visokom čistoćom, PFA grijači visoke-čistoće postali su nezamjenjiva ključna oprema u industriji poluvodiča i-vrhunskoj proizvodnji.
