RCA čist-standardni slijed čišćenja pločica-koristi SC1 i SC2 otopine na povišenim temperaturama za uklanjanje čestica i metalnih nečistoća. Izmjenjivači topline koji kontroliraju ove temperature kupelji ne moraju doprinijeti nultom dodatnom onečišćenju metalom ili je cijeli korak čišćenja ugrožen.
RCA Clean Process
TheRCA čistproces, ključni korak u pripremi poluvodičkih pločica, koristi dvije otopine za čišćenje:SC1(amonijev hidroksid, vodikov peroksid i voda) iSC2(klorovodična kiselina, vodikov peroksid i voda). Oba rješenja djeluju na70-80 stupnjevai imaju različite uloge u uklanjanju kontaminanata:
Rješenje SC1: Prvenstveno se koristi za uklanjanje organskih kontaminanata i čestica, SC1 djeluje kao oksidirajuća otopina. Okolina s visokom{2}}temperaturom osigurava učinkovito čišćenje, razgradnju organskih ostataka i čestica koje se mogu zalijepiti za površinu ploče.
Rješenje SC2: Ova otopina se koristi za uklanjanje metalnih iona s površine ploče. Kombinacija klorovodične kiseline i vodikovog peroksida osigurava potrebnu kemijsku reaktivnost za otapanje i uklanjanje metalnih kontaminanata s pločice, osiguravajući čistu površinu za daljnju obradu.
I SC1 i SC2 rješenja su vrlo visokanagrizajućiioksidirajući, zahtijevajući robusne sustave koji mogu izdržati takva okruženja i istovremeno spriječiti kontaminaciju iz izmjenjivača topline koji se koriste za održavanje njihove temperature.
Uloga PTFE izmjenjivača topline u RCA čišćenju
Visokonagrizajućipriroda SC1 i SC2 rješenja zahtijeva da izmjenjivači topline u ovoj primjeni budu izrađeni odfluoropolimeri, kao što jePTFEiliPFA, koji nude izvrsnu kemijsku otpornost. Ovi izmjenjivači služe za regulaciju temperature otopina, osiguravajući da one ostanu unutar željenog radnog raspona, a istovremeno štite integritet procesa čišćenja.
Vanjske recirkulacijske petlje: PTFE ili PFA izmjenjivači topline integrirani su u sustav kao dio vanjskih recirkulacijskih petlji koje griju ili hlade SC1 i SC2 rješenja prema potrebi. Ovaj pristup zatvorene-petlje osigurava postojane temperature otopine bez unošenja metalnih iona iz procesa grijanja/hlađenja.
Inertna svojstva: PTFE i PFA izmjenjivači topline potpuno su inertni, što znači da ne otpuštaju ione u otopinu, čak ni pridijelova-na-trilijungranice detekcije okruženja proizvodnje poluvodiča. Ovo je presudno za održavanje integriteta procesa čišćenja pločice, gdje kontaminacija metalom može dovesti do značajnog gubitka prinosa uređaja.
Unapredne tvornice poluvodiča, gdje se mjere proračuni kontaminacijeatoma po kvadratnom centimetru, potreba zabez{0}}ionarješenja za prijenos topline su najvažnija. Samofluoropolimerni izmjenjivačimože zadovoljiti ove stroge zahtjeve, osiguravajući da se RCA čisti proces izvodi bez unošenja dodatnih onečišćenja u površinu ploče.
Grade materijala
Samo za poluvodičke primjenePTFE visokog- stupnja čistoćeiliPFAtreba koristiti u konstrukciji izmjenjivača topline. Ovi materijali zadovoljavaju najstrože standarde zakemijska otpornostičistoća, osiguravajući da se čestice ili ioni ne ispuštaju u kupke za čišćenje. Fluorpolimeri koji nisu -poluvodički- mogu sadržavati nečistoće ili kontaminante koji bi mogli negativno utjecati na proces čišćenja.
Zaključak
PTFE/PFA izmjenjivači toplineigraju neizostavnu ulogu uRCA čistprocesa, osiguravajući pouzdanu kontrolu temperature SC1 i SC2 otopina bez unošenja metalne kontaminacije. Očuvanjem čistoće površine ploče, ovi izmjenjivači izravno doprinose većem učinku uređaja i poboljšanim proizvodnim rezultatima. Kako industrija poluvodiča nastavlja gurati napredne tehnologije, potražnja zamaterijali najviše-čistoćeu svakoj fazi proizvodnje, uključujući čišćenje vafla, ostaje temeljni uvjet za uspjeh.
